ОТРИМАННЯ ПЛІВОК Ti–Al–Si–B–N МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ЇХ МЕХАНІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ

Анотація

Плівки Ti–Al–Si–B–N осаджували методом магнетронного (на постійному струмі) розпилення композиційної мішені Ti–Al–Si–B–N в аргоновій плазмі. Структуру і фазовий склад плівок вивчали методом рентгенівської дифрактометрії. Хімічні зв’язки в плівках вивчено методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Досліджено вплив параметрів осадження та подальшого відпалу в вакуумі на структуру, твердість та механічні властивості плівок. Осаджені в інтервалі температур 200–500 °С та напружень зміщення 0…–250 В плівки мали аморфну структуру, яка зберігалася при відпалі до 800 °С. За вищої температури відпалу у плівках формувалася нанокристалічна структура. Відпал спричинив також підвищення твердості та покращення механічних властивостей плівок.