Конференції

ЛАЗЕРНА ОБРОБКА РЕЗИСТИВНИХ ТОВСТИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ LaB6

О.В.Паустовський,
 
Б.М.Рудь,
  
Є.Я.Тельников,
 
В.В.Кременецкий,
 
П.С.Смертенко,
 
І.В.Захарченко,
 
А.О.Рогозінська
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2008, #05/06
http://www.materials.kiev.ua/article/748

Анотація

Вивчено вплив лазерної обробки на структуру та електрофізичні характеристики резистивних товстих плівок на основі LaB6. Досліджено фазовий склад та структуру композиції. Показано, що опромінення мікро- та наносекундними імпульсами, на відміну від мілісекундних, незначно збільшує електроопір резистивної товстої плівки та сприяє утворенню більш однорідної й дрібнодисперсної структури. Резистивні товсті плівки на основі LaB6 більш стійкі до тривалого впливу наносекундного лазерного випромінювання, ніж резистори на основі ВаВ6 та ВаВ6-LaB6.


ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ, ЛАЗЕРНА ОБРОБКА, РЕЗИСТИВНА ТОВСТА ПЛІВКА, СТРУКТУРА