Синтез плівок TiO₂ методом хімічного газофазного осадження та їх властивості

Анотація

Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО₂ методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500 ^оС і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO?Ni (Т_{синтезу} = 600 ^оС) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500 ^оС, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею