Молекулярно-динамическое моделирование процессов формирования локальных наноструктур с помощью сфокусированного атомного пучка

Анотація

Розроблено комп"ютерну програму, що відтворює нову технологію одержання локальних наноструктур (острівців) на твердих поверхнях методом конденсації атомів із сфокусованого молекулярного пучка нанорозмірного перерізу. На прикладі систем Lennаrd-Jons досліджено вплив ряду керуючих параметрів (енергії пучка, температури підкладки та ін.) на структуру і морфологію острівців. Формування германієвих острівців на поверхні моно- кристалічного кремнію моделювалося з використанням специфічних колективних потенціалів (Stillinger-Weber та Tersoff)