Вплив водню на структурні характеристики нитковидних кристалів карбіду кремнію, одержуваних методом парогазового синтезу

Анотація

Розглянуто результати атестації структури, кристаломорфології та фазового складу трьох різновидів зразків у формі нитковидних кристалів карбіду кремнію, синтезованого із парогазової суміші складу CH₃SiCl₃ + H₂. Зразки одержано в одних і тих самих умовах (за температури 1300 ^оС), але за різної концентрації водню в потоці реакційної суміші. Структурні дослідження виконано методом просвічуючої електронної мікроскопії в поєднанні з мікродифракцією та інфрачервоною спектроскопією (ІЧ). Встановлено, що зростання концентрації водню в реакційній суміші сприяє формуванню нитковидних кристалів з мікроструктурою типу ядро―оболонка. У цьому випадку ядром являється нитка карбіду кремнію кубічної модифікації, а оболонка представляє собою оксид кремнію. Мікродифракційними дослідженнями в поєднанні з ІЧ-вивченням виявлено, що оболонка нитковидних кристалів має склад SiО_х та знаходиться в аморфному стані. Повний текст