ВПЛИВ ВІДПАЛУ НА ДИСПЕРГУВАННЯ МОЛІБДЕНОВИХ НАНОПЛІВОК, НАНЕСЕНИХ НА НЕОКСИДНІ НЕМЕТАЛЕВІ МАТЕРІАЛИ

Анотація

Досліджено кінетику диспергування молібденових наноплівок завтовшки 100 нм, нанесених на підкладки з нітридокремнієвої та нітридоалюмінієвої кераміки, скловуглецю й монокристалів карбіду кремнію та відпалених у вакуумі за 1200—1600 °С протягом різного часу (2—20 хв) за кожної температури. Встановлено, що із молібденових наноплівок на неоксидних матеріалах найменш стійкою на відпал є плівка на нітриді кремнію, яка інтенсивно розпадається та починає взаємодіяти з поверхнею підкладки вже після відпалу за 1300 ° С, а найбільш стійкими виявилися плівки на нітриді алюмінію. За даними досліджень побудовано кінетичні криві диспергування плівок в результаті відпалу.