Вибори директора
  1. Головна
  2. Публікації
  3. Електричні контакти та електроди
  4. № 13 2016 рік
  5. C. 13

Мікроелектромеханічні системи в медицині

В.Н.Шоффа,
 
О.Г.Бандоріна
 

Електричні контакти та електроди - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2016, #13
http://www.materials.kiev.ua/article/2342

Анотація

Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікродзеркал, а також результати аналітичного розрахунку і розрахунку в програмі COMSOL Multiphysics мікродзеркала з тепловим приводом.


БІМЕТАЛІЧНА ПЛАСТИНА, БІОМЕМС, МЕМС, МІКРОДЗЕРКАЛО, МІКРОСИСТЕМНА ТЕХНІКА, ТЕПЛОВИЙ ПРИВІД

Публікації