ТЕХНОЛОГІЇ ТЕРМІЧНОЇ АКТИВАЦІЇ ФАЗОВОГО СКЛАДУ І ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК Co–Sb

Анотація

Досліджено формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівках CoSb_х (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаджених методом молекулярно-променевої епітаксії на підкладки окисленого монокристалічного кремнію при температурі 200 °С і подальшої термічної обробки у вакуумі в інтервалі температур 300–700 °С. Встановлено, що плівки після осадження знаходяться в полікристалічному стані без текстури. Зі збільшенням вмісту Sb в плівках формування фазового складу відбувається в тій же послідовності, як це передбачається діаграмою фазової рівноваги для масивного стану системи Co–Sb. При відпалі у вакуумі при температурах вище 450–500°С відбувається сублімація не тільки кристалічної фази Sb, а і сурми із антимонідів, що відображується в зміні фазового складу за наступними хімічними реакціями: CoSb₂ Sb↑ = CoSb, CoSb₃ Sb↑= CoSb₂, CoSb₃ + Sb↑ CoSb₃. Це призводить до збільшення кількості фаз СоSb та СоSb₂ й зменшення кількості СоSb3. Плівки складу CoSb_x (30 нм) (1,8 < х < 4,16) термостабільні до температури ~350°С.