НАДТВЕРДІ ВАКУУМНІ ПОКРИТТЯ НА ОСНОВІ ВИСОКОЕНТРОПІЙНИХ СПЛАВІВ

Анотація

Вакуумним магнетронним напиленням отримано покриття з високоентропійних сплавів TiZrVNbТа, AlCrFeCoNiCuV і TiZrHfNbTaCr, яким притаманний різний фазовий склад. Досліджено властивості покриттів завтовшки від 2,5 до 6 мкм. Встановлено, що в процесі магнетронного напилення фазовий і хімічний склад істотно не змінюються, і лише після використання негативної постійної напруги зміщення на підкладку більше –180 В для сплаву AlCrFeCoNiCuV помічено істотне зниження вмісту таких елементів, як мідь і алюміній. Встановлено, що всі вакуумні високоентропійні покриття — наноструктуровані, і залежно від фазового складу їх твердість змінюється в діапазоні від 10 до 19 ГПа, а приведений модуль пружності — від 106 до 192 ГПа.