СТРУКТУРНІ ТА МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ TiN/BCN-ПОКРИТТІВ

 
А.І.Кузьмичев,
   
І.І.Тимофєєва,
 
О.О.Бутенко,
   
С.Н.Дуб
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2013, #01/02
http://www.materials.kiev.ua/article/914

Анотація

Методом дуального магнетронного розпилення отримано моношаруваті TiN і a-BCN та наношаруваті TiN/BСN-покриття. Проведено порівняльне вивчення впливу потужності розряду на керамічній мішені, швидкості потоку реагентів і потенціалу зміщення на підкладці на механічні властивості наношаруватих покриттів. Досліджено структуру, хімічні зв'язки, механічні властивості, адгезію і коефіцієнт тертя покриттів. Встановлено, що осаджені наношаруваті покриття мають структуру nc-TiNx/a-BNO+a-C. Показано, що твердість за Кнупом наношаруватих TiN/BСN-покриттів досягає в середньому 45 ГПа. Нанотвердість покриттів нижча від твердості за Кнупом в середньому на 20–30%. Отримані наношаруваті покриття можна пропонувати для використання в якості захисних і зміцнювальних зносостійких покриттів в машинобудуванні.


АДГЕЗІЯ, ЗНОСОСТІЙКЕ ПОКРИТТЯ, КОЕФІЦІЄНТ ТЕРТЯ, МАГНЕТРОННЕ РОЗПИЛЕННЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, НАНОШАРУВАТЕ ПОКРИТТЯ