Корозійна стійкість плівок TiN у 3%-ному розчині NaCl

Анотація

Досліджено корозійну поведінку у 3%-ному розчині NаСl полікристалічних текстурованих та аморфних плівок TiN. Показано, що в TiN-плівках процес окиснення відбувається за типом пітінгової корозії. Основною причиною корозійної нестійкості полікристалічних текстурованих плівок є взаємодія з домішками (зокрема, з киснем і вуглецем), що утворюють "хмари " навколо границь зерен, а у випадку аморфно-кристалічних плівок — біля границь поділу "аморфний—кристалічний стан". Корозійна стійкість полікристалічних текстурованих плівок зменшується зі зростанням рівня термічної напруги, що утворюється внаслідок відмінностей між коефіцієнтами теплового розширення плівки та матеріалу основи. Корозійна стійкість аморфно-кристалічних плівок TiN є приблизно у 700 разів вища за аналогічну величину масивного порошкового матеріалу TiN та у 2—10 разів — за корозійну стійкість полікристалічних текстурованих плівок.