Мас-спектри жевріючого розряду в аргоні при аналізі високо-легованих сталей

Анотація

Розраховано типи та концентрації іонних поліатомиих кластерів в плазмі жевріючого розряду при катодному розпиленні нержавіючої сталі типу XIЗН1ОТ в аргоні. Представлено інтерпретацію мас-спектрів в області мас ізотопів ряду елементів, які використовують для мікролегування сталей. Розрахунки виконано для високого газового фону, властивого пресованим таблеткам порошкових матеріалів. Проаналізовано роздільну здатність мас-спектрометра, яка забезпечує необхідну чутливість визначення рідкісноземельних та лужноземельних металів, В, V, Zr, Nb та Мо.