Кінетика росту наноплівки SIО₂ на поверхні MOSI₂ при анодній поляризації

Анотація

Досліджено кінетику росту плівки кремнезему на поверхні MoSi₂ при анодній поляризації. Показано, що анодне окислення MoSi₂ в 3%-вому розчині NaCl є багатостадійним процесом. Методом оже-електронної спектроскопії встановлено, що в області потенціалів 1,5-2,0 В на поверхні MoSi₂ зростає виключно оксид кремнію, в той час як молібден повністю переходить в електроліт. Кінетику росту плівки SiО₂ вивчали методом хронамперометрії при постійних значеннях потенціалу. Отримано кінетичні криві, що мають дві ділянки. На першій швидкість реакції (щільність струму) зменшується на порядок протягом декількох хвилин, коли починає формуватися наноплівка кремнезему. Потім встановлюється контрольований дифузією процес, який описується параболічною залежністю. В цілому модель, що описує утворення оксидної наноплівки на поверхні дисиліциду молібдену, узгоджується з теорією Мотта-Кабрера, запропонованої раніше для процесів високотемпературного окислення.