Структура і твердість вакуумно-дугових конденсатів титану і деяких сплавів на його основі, отриманих із несепарованих потоків плазми

 
В.А.Мельникова,
 
А.А.Демчишин,
 
О.А.Токарев,
  

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Електронна мікроскопія і міцність матеріалів - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2010, #17
http://www.materials.kiev.ua/article/564

Анотація

Досліджено структуру, фазовий склад і мікротвердість вакуумно-дугових конденсатів титану і плівкових матеріалів сплавів систем Ti—3Al—6Si, Ti—TiB2, сформованих з нефільтрованих потоків плазми безперервного катодно-дугового розряду. Показано, що варіювання технологічних параметрів генерування потоків металевої плазми і умови їх осадження дозволяє змінювати мікроструктурні та морфологічні властивості осаджуємих покриттів у широкому діапазоні.


ВАКУУМНО-ДУГОВЕ ВИПАРОВУВАННЯ, ЕЛЕКТРИЧНЕ ЗМІЩЕННЯ ПІДКЛАДКИ, КОНДЕНСАТ, НЕФІЛЬТРОВАНИЙ ПОТІК ПЛАЗМИ, СТРУКТУРА КОНДЕНСАТА, ТВЕРДІСТЬ