ВЛАСТИВОСТІ, СТРУКТУРА, СПОСОБИ ОДЕРЖАННЯ МАТЕРІАЛІВ НА ОСНОВІ ОКСИДУ ІНДІЮ ТА ЇХ ПРАКТИЧНЕ ЗАСТОСУВАННЯ У ТЕХНОЛОГІЯХ НАПІВПРОВІДНИКОВОЇ ТА ЕЛЕКТРОННОЇ ТЕХНІКИ (ОГЛЯД)

  

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Адгезія розплавів і пайка матеріалів - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2019, #52
http://www.materials.kiev.ua/article/2875

Анотація

Наведено огляд літературних даних щодо загальних властивостей та структури оксиду індію In2O3, проведено аналіз методів одержання матеріалів на його основі, розглянуто застосування оксиду індію у різних галузях напівпровідникової та електронної техніки.


МІКРОЕЛЕКТРОНИЙ ПРИСТРІЙ, НАПІВПРОВІДНИК, ОКСИД ІНДІЮ, ПРОЗОРІ ПРОВІДНІ ШАРИ, ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ