ФАЗОУТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ FePt/Au/FePt ТА ЇХ МАГНІТНІ ВЛАСТИВОСТІ

Анотація

Досліджено вплив середовища відпалу (вакуум, водень) та товщини проміжного шару Au на утворення магнітно-твердої фази L1₀ та магнітних властивостей плівок Fe₅₀Pt₅₀(15 нм)/Au(7,5; 30 нм)/Fe₅₀Pt₅₀(15 нм), нанесених магнетронним розпиленням на підкладку SiO₂(100 нм)/Si(001). Термічну обробку зразків у середовищі водню здійснювали під тиском 100 кПа. Встановлено, що у плівках після осадження утворюється невпорядкована фаза A1-FePt. Формування упорядкованої фази L1₀-FePt у плівці з проміжним шаром Au(7,5 нм) відбувається під час відпалу у вакуумі при 650 °С. Збільшення товщини проміжного шару Au до 30 нм призводить до зниження температури впорядкування до 600 °С. Цьому сприяє більш високий рівень стискаючих напружень у шарах Fe₅₀Pt₅₀ з товстішим проміжним шаром Au. При відпалі у водні фазове перетворення A1 → L1₀-FePt у плівках Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/Au(7,5; 30 нм)/ Fe₅₀Pt₅₀(15 нм) починається при 500 °С незалежно від товщини проміжного шару Au. Аксіальні текстури (111) Au і FePt мають місце у плівках, відпалених у водні. Вони більш виражені плівках з проміжним шаром Au(30 нм). Плівка з проміжним шаром Au(30 нм) після відпалу у вакуумі при 900 °С має коерцитивну силу 27,3 кЕ. Таку ж коерцитивну силу можна отримати при відпалі у водні при 700 °С. Тобто на 200 °С менше, ніж при відпалі у вакуумі, через проникнення водню в порожнини ґратки L1₀-FePt та збільшення рівня напруженого стану.