ВПЛИВ УМОВ ФОРМУВАННЯ ГРАНУЛЬОВАНИХ ТОВСТИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ ДИСПЕРСНОГО Со₃В НА ЇХ ФАЗОВИЙ СКЛАД ТА МАГНІТООПІР

Анотація

Розв’язано важливу науково-технічну проблему створення гранульованих резистивних товстих плівок, які застосовуються у мікроелектроніці та приладобудуванні. Одержано гранульовані Со-вмісні магніторезистивні плівки методом трафаретного друку на діелектричну підкладку паст, які складаються з мікродисперсного бориду Со₃В та органічної зв’язки. Нанесені плівки піддавали термообробці на повітрі без будь-якого захисту. Методами дериватометричного та рентгенофазового аналізів встановлено, що за Т = 650–850 °С у структурі плівок наявні лише феромагнітний Со (ГЦК) та аморфний В₂О₃. Виходячи з цього розроблено режими термообробки плівок. Вивчено вплив магнітного поля на їхній електроопір.