ВПЛИВ МАТЕРІАЛУ СТРУМОПІДВОДЯЩИХ КОНТАКТІВ НА ЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОВСТИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ ДІОКСИДУ ОЛОВА

Анотація

Досліджено вплив матеріалу контактів, виготовлених із срібловмісної пасти та пасти на основі бориду нікелю, на властивості товстих плівок на основі дисперсного SnO₂. Нанопорошок Sn_0,97Sb_0,03O₂ вводили до складу товстоплівкової композиції для інтенсифікації процесу консолідації плівки в умовах термообробки та її адгезії до підкладки, а також для регулювання питомого електроопору. Використано методи рентгенофазового аналізу та електронної мікроскопії. Вивчено залежності електроопору плівок від складу струмопровідної фази. Досліджено вплив температури термообробки на електроопір і вольтамперні характеристики плівок на срібних і нікелевих контактах. Показано, що виготовлені з пасти на основі порошку Ni₃B контакти можна використовувати для плівок на основі SnO₂, температура термообробки яких не перевищує 1073 К, зокрема, для чутливих елементів газових сенсорів.