Вплив потенціалу зміщення на властивості Si – C – N плівок, отриманих на кремнії плазмохімічним методом із гексаметилдісилазану

Анотація

Досліджено вплив величини негативного зміщення на властивості тонких плівок Si–C–N, отриманих на кремнії плазмохімічним методом із гексаметилдисилазану. Установлено, що плівки, осаджені при різних значеннях зміщення, є рентгеноаморфними навіть після додаткового відпалу у вакуумі за температури 1000 °С. Із підвищенням напруги зміщення прискорюється осадження плівки, несуттєво знижується її шорсткість, збільшується кількість зв’язків Si–C за рахунок зменшення кількості зв’язків Si–O, що проявляється в зростанні нанотвердості та модуля пружності плівок Si–C–N.