Порівняльні дослідження плазмохімічних покриттів Sі-C-N, отриманих із різних прекурсорів

Анотація

Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан (ГМДС). Вивчено вплив природи прекурсору на фазовий склад, характер міжатомової взаємодії, а також проаналізовано зносостійкість, коефіцієнт тертя при дряпанні діямантовою пірамідкою плівок SіCN, адгезію і шорсткість поверхні плівок. Встановлено, що структура плівок (наноструктура МТХС-плівок і аморфність ГМДС-плівок) суттєво впливає на зносостійкість покриттів SiCN. Аморфні ГМДС-плівки мають у 2 рази нижчу зносостійкість, ніж нанокристалічні МТХС-плівки. Дослідження коливань зв'язків у ГМДС і МТХС плівках на основі аналізи інфрачервоних спектрів (FTIR) показало кореляцію між посиленням зв'язків Sі—C в плівках і трибологічними характеристиками. Припускається, що наявність хльору в МТХС-плівках впливає на зниження шорсткости поверхні і пониження коефіцієнту тертя.