Конференції

Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок

    
В.Я.Малахов,
  

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Ж.Нано- та Електронної Фізики, 2015, Т.7, #3, C.03040 - 6 c.
http://www.materials.kiev.ua/article/1653

Анотація

Досліджено структурні властивості та енергетичну щілину Si-C-N плівок, осаджених плазмохіміч- ним методом з гексаметилдісилазану, в інтервалі температур 200-700 °С. Плівки були отримані на кремнієвих і скляних підкладках, що дало можливість провести рентгеноструктурне дослідження та вивчити спектри інфрачервоного (FTIR) і оптичного пропускання. Представлення широкої смуги FTIR спектрів у вигляді гаусіан свідчить, що основний внесок роблять коливання Si-C, Si-N і Si-O зв'язків. Показано, що з підвищенням температури відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок. Енергетична щілина зменшується з 2,3 до 1,6 еВ зі зміною температури підкладки з 200 до 700 °С.


FTIR, PECVD, SI-C-N ПЛІВКИ, ГЕКСАМЕТИЛДІСИЛАЗАН, ОПТИЧНІ СПЕКТРИ