Отримання та дослідження нанокомпозитних плівок на основі TiN/SiN

Анотація

Методом дуального магнетронного розпилення отримано моношаруваті TiN і a-BCN та наношаруваті TiN/BСN-покриття. Проведено порівняльне вивчення впливу потужності розряду на керамічній мішені, швидкості потоку реагентів і потенціалу зміщення на підкладці на механічні властивості наношаруватих покриттів. Досліджено структуру, хімічні зв'язки, механічні властивості, адгезію і коефіцієнт тертя покриттів. Встановлено, що осаджені наношаруваті покриття мають структуру nc-TiNx/a-BNO+a-C. Показано, що твердість за Кнупом наношаруватих TiN/BСN-покриттів досягає в середньому 45 ГПа. Нанотвердість покриттів нижча від твердості за Кнупом в середньому на 20–30%. Отримані наношаруваті покриття можна пропонувати для використання в якості захисних і зміцнювальних зносостійких покриттів в машинобудуванні.