Виготовлення Ti-Al-Si-B-N плівок методом магнетронного розпилення і вивчення їх механічних властивостей

Анотація

Плівки Ti-Al-Si-B-N осаджувались шляхом магнетронного розпилення композитної мішені Ti-Al-Si-B-N в аргонової плазмі. Структура і фазовий склад плівок досліджувалися методом рентгенівської дифракції. Хімічні зв`язки в плівках були досліджені методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Вплив вакуумного відпалу на плівковій структури, твердість і механічні властивості були проаналізовані. Плівки, осаджені при температурах в діапазоні 200-500 ° C і напрузі зміщення від 0 ... -250 демонструють аморфну структуру, яка була збережена при відпалі до 800 ° С. При більш високих температурах відпалу, почали формуватися нанокристалічні фази. Відпал також призводить до збільшення твердості і поліпшення механічних характеристик плівок.