Конференції
  1. Головна
  2. Структура
  3. Адміністрація
  4. Публікація

Порівняльне дослідження плівок NBN і Nb-Si-N: Експеримент та Теорія

В.І.Іващенко,
 
П.Л.Скринський,
 
О.Литвин,
 
О.О.Бутенко,
 
О.К.Синельниченко,
 
Л.Горб,
 
Ф.Хілл,
 
J.Leszczynski,
 
А.О.Козак
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
J. Superhard Materials, 2014, Т.36, #6
http://www.materials.kiev.ua/article/1641

Анотація

Плівки NbN і Nb-Si-N отримані методом магнетронного розпилення Nb і Si мішеней на кремнієвих пластинах при різних концентраціях потоку атомів із Nb мішені. Плівки досліджувались за допомогою атомно- силової мікроскопії, рентгеноструктурного аналізу, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, нано- і мікроіндентування. Плівки NbN виявились наноструктурованими, плівки Nb-Si-N представляли собою агрегацію δ-NbNx нанокристалітів в аморфнiй Si3N4 матриці (nc-δ-NbNx/a-Si3N4). Дослідження відпалених у вакуумі плівок показали, що їх інтенсивне окислення відбулося при температурі відпалу вище, ніж 600 ° C. Для пояснення експериментальних результатів були проведені першопринципні молекулярно-динамічні моделювання гетероструктур NbN (001)/Si3N4.