Структурні і механічні властивості TiN/BCN покриттів

Анотація

Одношаров TiN і а-BCN і наношарові TiN / BCN покриття осаджені за допомогою DC магнетронного розпилення. Вивчено вплив потужності розряду, швидкості потоку газів, а також напруги зміщення на підкладці на механічні властивості напилених покриттів. Проаналізовані структура, хімічний зв’язок, механічні властивості, адгезія, і коефіцієнт тертя покриттів. Встановлено, що осаджене наношарове покриття має структуру nc-TiNx/a-BNO+a-C .Твердість за Кнупом наношарових TiN / BCN покриттів може досягати в середньому 45 ГПа . Нанотвердость покриттів нижче, ніж твердість за Кнупом (на 20-30%). Отримані наношарові покриття можуть бути рекомендовані в якості зносостійких і захисних покриттів для машинобудування.