Конференції
  1. Головна
  2. Структура
  3. null
  4. Публікація

Характеристика плазмохімічних покриттів, осаджених із використанням гексаметилдисилазану

Л.А.Іващенко,
 
О.К.Порада,
 
В.І.Іващенко,
 
О.О.Бутенко,
 
С.Н.Дуб,
 
П.М.Литвин,
 
В.А.Мороженко,
 
А.О.Козак
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Наноструктурне матеріалознавство - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2011, #4
http://www.materials.kiev.ua/article/1632

Анотація

Досліджені SiCN плівки, отримані методом PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) із гексаметилдісилазану (HMDSN) в якості прекурсора. Вивчено вплив додаткового азоту в реакційній камері на властивості плівок. Плівки охарактеризовано за допомогою інфрачервоної спектроскопії та спектрів фотолюмінесценції. Також вивчені механічні властивості плівок, а саме нанотвердість і модуль пружності в залежності від потоку азоту.


Публікації