МОРФОЛОГІЯ ПОВЕРХНІ І ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОВСТИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ SnO₂–Sb ПІСЛЯ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ

Анотація

Вивчено вплив імпульсного лазерного опромінення на структуру і електрофізичні властивості резистивних товстих плівок на основі твердого розчину Sn_0,9Sb_0,1O₂. Методами електронної скануючої, атомної силової мікроскопії і рентгенофазового аналізу досліджено структуру резистивних товстих плівок, а також отримано концентраційний розподіл твердого розчину Sn_0,9Sb_0,1O₂ у поверхневих шарах та по товщині плівки. Опромінення лазерними імпульсами нано- і мікросекундної тривалості змінює вольт-амперні характеристики порівняно зі зразками після лазерної обробки імпульсами мілісекундної тривалості. В інтервалі від 1 до 10–11 В вольт-амперні характеристики стають практично лінійними, що дозволяє визначити оптимальну (α = 1) для роботи резисторів область напруг. Температурний коефіцієнт опору залежить від тривалості імпульсу та його енергії.